FPD金相显微镜

金相RX系列是较新型FPD检查显微镜，专为LCD行业TFT玻璃COG导电粒子压痕检查，具有成像清晰，工作距离长，使用便利，应用软件丰富的特点，是一款性价比非常优秀的半导体及微电子工业与科研用显微镜，其微分干涉效果可与进口品牌相媲美。（该仪器适用于以大尺寸液晶面板、PCB板与需要金相观察行业。金相光学观察系统，可实现明暗视野的观察以及导电粒子微分干涉观察。被广泛用于LED液晶、导电粒子彩色滤光片、FPD模组、半导体晶图片、FPC—PCB、IC封装光盘CD、图像传感器、CCD、CMOS、PDA光源等产品的观察及检测）
型号	RX-3020
移动范围	X轴300MM、Y轴200MM、Z轴200MM
较小显示值	0.0005mm
X、Y轴移动方式	手动位移
Z轴升降方式	 电动导轨升降（日本“信浓”步进电机）、较小位移量：0.001mm 
主 机	照明系统	12V 50W卤素灯落射照明、10W LED透射照明
	转换器	五孔物镜转盘（带DIC插槽）
数据处理器	DP-10
观察筒	三目观察筒
目 镜	WF10X/22 
明 场 物 镜	 LWD**N  5X:  数值孔径(N.A) 0.14, 平场长工作距离物镜:10.8mm
	LWD**N 10X: 数值孔径(N.A) 0.25, 平场长工作距离物镜:10.0mm
	LWD**N 20X: 数值孔径(N.A) 0.40, 平场长工作距离物镜:4.0mm
光学系统	CSIC 无限远校正光学系统
CCD	美国“TEO”1/2英寸彩色CCD
测量软件	YR-YCSPC
工作台承重	35KG
仪器外形尺寸	900X700X980MM
选购件	50X、100X物镜、暗场物镜、“OLYMPUS”DIC模块（微分干涉装置）
3、 性能指标：
1.1 精度指标：
?线性精度: U1=2+L/250um
?重复精度: 2um
?Z轴行程: 200mm。
?工件限重: 35 Kg。
?外观尺寸:? 900x 700 x 980 mm。
?机台重量：170KG
机台定位精度：±0.001mm.
?具有三轴运动状态优化控制与系统机械几何误差补偿功能；
?系统软件控制优化设置及系统自检功能；
?完善的直观化图形界面为不同的软件应用水平的操作者提供了便捷的执行功能；
?具有编程功能，适合大批量的测量检测；
?坐标系找正管理功能：工件坐标系坐标系的建立、转换、存取功能。
?自动寻边功能：可设定边界自动捕捉寻边，多点测线，圆，弧等减少测量视觉误差。
?框选范围检测：框选范围内同时量测多个图形，大大减少工作量
?筛选毛边自动寻边量测：针对盲孔，倒角，不规则图形，毛边产品进行边缘处理，使其边缘取点更趋**
?DXF对比测量：直接将工件设计图纸与被测工件进行对比
?几何元素的评价：
基本几何元素测量及评定：  点、直线、平面、圆、椭圆、圆柱、圆锥
基本几何元素关系计算：    相交、距离、对称、垂直、夹角
形 状 误 差 的 评 定：    直线度、平面度、圆度、圆柱度
位 置 误 差 的 评 定：    平行度、垂直度、倾斜度、同轴度(同心度)、对称
度、位置度
?工件坐标系与机器坐标系的统一。
?具有零件模型自动识取几何元素特征功能及自动生成检测程序。
?具有逆向工程测量功能。
?报表输出： 产品测量结果可直接转档到EXCEL.，使结果一目了然
SPC统计分析：可以计算CA、CP、CPK、DRL、DRR、DR、MAX、MIN、AVG、RANGE、STD，并可以绘出X-R图， ，折线图，柱状图等